真空ステージ_シグマ光機 ※こっちを最終版とする
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真空仕様自動ステージ
真空ステージは、真空環境下でのワークの移動や精密な位置決めを行うために
設計されたステージです。材料や潤滑油が真空環境下でアウトガス（放出ガス）
が発生しないように専用設計を施しており、クリーンな真空環境を維持します。
半導体製造や精密加工、顕微鏡を用いた実験など、高度な技術が求められる
分野で利用されます。最適なソリューションとしてご提案いたします。
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真空仕様自動ステージ VSGSP-(X)
真空環境対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
ラインアップ・仕様
外形図
真空仕様小型自動ステージ VTAMM
CEに対応した真空仕様の小型自動ステージです。真空環境での実験や真空チャンバー内での使用が可能な自動ステージです。
VTAMMのコンパクトなボティは、小型の真空装置にも設置することができ、省スペース化にも最適です。
VTAMMのコンパクトなボティは、小型の真空装置にも設置することができ、省スペース化にも最適です。
ラインアップ・仕様
外形図
真空仕様自動回転ステージ VSGSP-YAW
真空環境に対応したステージです。 真空環境に対応したリミットセンサを搭載し、
薄型でありながら□42mmのモーターを採用しているため、高耐荷重を実現します。
ラインアップ・仕様
外形図
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